cam培训之压合详解

　将铜箔(Copper Foil),胶片(Prepreg)与氧化处理(Oxidation)后的内层线路板,压合成多层基板.本章仍介绍氧化处理,但未来因成本及缩短流程考量,取代制程会逐渐普遍.
5.2. 压合流程,如下图5.1:

5.3. 各制程说明
5.3.1 内层氧化处理(Black/Brown Oxide Treatment)
5.3.1.1 氧化反应
　　A. 增加与树脂接触的表面积,加强二者之间的附着力(Adhesion).
　　B. 增加铜面对流动树脂之润湿性,使树脂能流入各死角而在硬化后有更强的抓地力。
　　C. 在裸铜表面产生一层致密的钝化层(Passivation)以阻绝高温下液态树脂中胺类(Amine)对铜面的影响。
5.3.1.2. 还原反应
　　目的在增加气化层之抗酸性，并剪短绒毛高度至恰当水准以使树脂易于填充并能减少粉红圈( pink ring ) 的发生。
5.3.1.3. 黑化及棕化标准配方:
表一般配方及其操作条件
上表中之亚氯酸钠为主要氧化剂,其余二者为安定剂,其氧化反应式。
此三式是金属铜与亚氯酸钠所释放出的初生态氧先生成中间体氧化亚铜,2Cu+[O] →Cu2O,再继续反应成为氧化铜CuO,若反应能彻底到达二价铜的境界,则呈现黑巧克力色之"棕氧化"层,若层膜中尚含有部份一价亚铜时则呈现无光泽的墨黑色的"黑氧化"层。
5.3.1.4. 制程操作条件( 一般代表 ),典型氧化流程及条件。
5.3.1.5 棕化与黑化的比较
A. 黑化层因液中存有高碱度而杂有Cu2O,此物容易形成长针状或羽毛状结晶。此种亚铜之长针在高温下容易折断而大大影响铜与树脂间的附着力,并随流胶而使黑点流散在板中形成电性问题,而且也容易出现水份而形成高热后局部的分层爆板。棕化层则呈碎石状瘤状结晶贴铜面,其结构紧密无疏孔,与胶片间附着力远超过黑化层,不受高温高压的影响,成为聚亚醯胺多层板必须的制程。
B. 黑化层较厚,经PTH后常会发生粉红圈(Pink ring),这是因 PTH中的微蚀或活化或速化液攻入黑化层而将之还原露出原铜色之故。棕化层则因厚度很薄.较不会生成粉红圈。内层基板铜箔毛面经锌化处理与底材抓的很牢,但光面的黑化层却容易受酸液之侧攻而现出铜之原色,见图5.2.
C. 黑化因结晶较长厚度较厚故其覆盖性比棕化要好,一般铜面的瑕疪较容易盖过去而能得到色泽 均匀的外表　。棕化则常因铜面前处理不够完美而出现斑驳不齐的外观,常不为品管人员所认同。不过处理时间长或温度高一些会比较均匀。事实上此种外观之不均匀并不会影响其优良之剥离强度(Peel Strength). 一般商品常加有厚度仰制剂(Self-Limiting)及防止红圈之封护剂 (Sealer)使能耐酸等,则棕化之性能会更形突出。
　表5.4显示同样时间及温度下,不同浓度氧化槽液,其氧化层颜色,颗粒大小及厚度变化
5.3.1.6制程说明
　　内层板完成蚀刻后需用碱液除去干膜或油墨阻剂,经烘干后要做检修,测试,之后才进入氧化制程。此制程主要有碱洗、酸浸,微蚀、预浸、氧化,还原,抗氧化及后清洗吹干等步骤,现分述于后:
　A. 碱性清洗- 也有使用酸洗.市售有多种专业的化药,能清除手指纹、油脂,scum或有机物。
　B. 酸浸-调整板面PH,若之前为酸洗,则可跳过此步骤.
　C. 微蚀- 微蚀主要目的是蚀出铜箔之柱状结晶组织(grain structure)来增加表面积,增加氧化 后对胶片的抓地力。通常此一微蚀深度以50-70微英吋为宜。微蚀对棕化层的颜色均匀上非 常重要,
　D. 预浸中和- 板子经彻底水洗后,在进入高温强碱之氧化处理前宜先做板面调整 ,使新鲜的铜 面生成- 暗红色的预处理,并能检查到是否仍有残膜未除尽的亮点存在。
　E. 氧化处理-市售的商品多分为两液,其一为氧化剂常含以亚氯酸钠为主,另一为氢氧化钠及添 加物,使用时按比例调配加水加温即可。通常氢氧化钠在高温及搅动下容易与空气中的二氧化 碳形成碳酸钠而显现出消耗很多的情况,因碱度的降低常使棕化的颜色变浅或不均匀,宜分析 及补充其不足。温度的均匀性也是影响颜色原因之一,加热器不能用石英,因高温强碱会使硅 化物溶解。操作时最好让槽液能合理的流动及交换。
　F. 还原－此步骤的应用影响后面压合成败甚巨.
　G. 抗氧化－此步骤能让板子的信赖度更好,但视产品层次,不一定都有此步骤.
　H. 后清洗及干燥-要将完成处理的板子立即浸入热水清洗,以防止残留药液在空气中干涸在板面 上而不易洗掉,经热水彻底洗净后,才真正完工。
5.3.1.7 设备
　　氧化处理并非制程中最大的瓶颈,大部分仍用传统的浸槽式独臂或龙门吊车的输送。所建立的槽液无需太大量,以便于更换或补充,建槽材料以CPVC或PP都可以。
　　水平连续自动输送的处理方式,对于薄板很适合,可解决RACK及板弯翘的情形.水平方式可分为喷液法(Spray)及溢流法(Flood),前者的设备昂贵,温度控制不易,又因大量与空气混合造成更容易沉淀的现象,为缩短板子在喷室停留的时间,氧化液中多加有加速剂(Accelerator)使得槽液不够稳定.溢流法使用者较多 .
5.3.1.8氧化线生产品质控制重点
A.检测方法及管制范围
　　 a.氧化量(o/w)之测定〔管制范围：0.3±0.07（mg/cm2）〕
　　　 (1) 取一试片9cm×10cm 1oz规格厚度之铜片，随流程做氧化处理。
　　　 (2) 将氧化处理后之试片置于130℃之烤箱中烘烤10min.去除水分，置于密闭容器冷却至室温，称重得重量－w1(g)。
　　　 (3) 试片置于20%H2SO4中约10min去除氧化表层，重复上一步骤，称重得重量－w2(g)
　　　 (4) 计算公式： O/W = （W1-W2／9×10×2）×1000
　　　　　 又称weight gain,一般在In-processQC会用此法
　　 b.剥离强度( Peel Strength )之测定　（管制范围：4~8 lb/in）
　　　 (1) 取一试片1oz规格厚度之铜箔基板，做氧化处理后图-做迭板( lay up )后做压合处理。
　　　 (2) 取一1cm宽之试片，做剥离拉力测试，得出剥离强度( 依使用设备计算 ).
　　c.蚀刻铜量(Etch Amount) 之测定（管制范围：70±30u in）
　　　 (1) 取一试片9cm×10cm 1oz规格厚度之铜片，置于130℃之烤箱中烘烤10min去除水份，置于密闭容器中冷却至室温，称重量得－w1(g)
　　　 (2) 将试片置于微蚀槽中约2'18"(依各厂实际作业时间)，做水洗处理后，重复上一个步骤，称得重量－w2(g)。
　　　 (3) 计算公式：
　
　　d.氧化后抽检板子以无亮点为判断标准

5.3.2 迭板
　　进压合机之前,需将各多层板使用原料准备好,以便迭板(Lay-up)作业.除已氧化处理之内层外,尚需胶片(Prepreg),铜箔(Copper foil),以下就叙述其规格种类及作业:
5.3.2.1 P/P(Prepreg)之规格
　P/P的选用要考虑下列事项:
　－绝缘层厚度 　
　－内层铜厚 　
　－树脂含量 　
　－内层各层残留铜面积 　
　－对称 　
　
　最重要还是要替客户节省成本

　　P/P主要的三种性质为胶流量(Resin Flow)、胶化时间(Gel time)及胶含量(Resin Content)其进料测试方式及其它特性介绍如下所述:
A. 胶流量(Resin Flow)
　　 1,流量试验法Flow test-与经纬斜切截取4吋见方的胶片四张精称后再按原经向对经向或 纬 对纬的上下迭在一起,在已预热到170°±2.8°之压床用200±25PSI去压10分钟,待其熔 合 及冷却后,在其中央部份冲出直径3.192吋的圆片来,精称此圆片重量,然后计算胶流之百分 流量为:


　　　式中分子相减之差即表示流出去的胶量,因原面积为16m2,而压后所冲之圆片面积为(3.196÷ 2)2×　　　　　3.14×2=16.045m2, 故可以解释为压后圆片以外的东西是"流"出去的 。
　　 2,比例流量Scaled flow test-是指面积大时用大的压力强度,面积小时用小的压力强度其作法 是正切胶片成　　　7in×5.5in之样片并使7in长向与原卷之经向平行,薄胶片(104,106,108)者要 18-20张,中度者(12.113.116)切10张,比116更厚者就不太准了。热板先预热到150°±20 ℃并加上脱膜纸,将胶放上以31PSI或840磅±5%在8吋见方的压床上压10±1分钟,冷却后 对角切开,并以测微卡尺量对角线的厚度,其计算如下:
　　　　 ho=[Wo/n(5.54×10-2)-Wg]×21.2×10-2
　　　　 ho-每张胶片原应有的厚度,Wo-原样片的总重,Wg-单位面积上之玻璃布重(g/in2),n-张数。
B. 胶化时间 (Gel time or Tack Time)
　　胶片中的树脂为半硬化的 B-Stage 材料,在受到高温后即会软化及流动,经过一段软化而流动 的时间后,又逐渐吸收能量而发生聚合反应使得黏度增大再真正的硬化成为 C-Stage 材料。 上述在压力下可以流动的时间,或称为可以做赶气及填隙之工作时间,称为胶化时间或可流胶 时间。当此时段太长时会造成板中应有的胶流出太多, 不但厚度变薄浪费成本而且造成铜箔 直接压到玻璃上使结构强度及抗化性不良。但此时间太短时则又无法在赶完板藏气之前因黏 度太大无法流动而形成气泡 (air bubble) 现象。
C. 胶含量 (Resin Content)
　　 是指胶片中除了玻璃布以外之胶所占之重量比。可以用以下两种方法测量之
　　 c-1　 烧完法 (Burn Out)
　　 c-2 　处理重量法 (Treated Weight) 　
　　其它尚有注意事项如下
D. 用偏光镜 (Polarizing Filter) 检查胶片中的硬化剂 dicy 是否大量的集中, 以防其发生 再结晶现象, 因再结晶后会吸水则会有爆板的危险。将胶片在光源经两片互相垂直的偏光镜 而可以看到胶片中的dicy 的集中再结晶现象。
E. 检查胶片中的玻璃纱束数目是否正确, 可将胶片放在焚炉中在540℃下烧15分钟除去树脂露 出玻璃布,在 20X 显微镜下计数每吋中的经纬纱束是否合乎规范。
F. 挥发成份 (Volatile), 在胶片卷上斜切下4 吋×4 吋的样片 4 片, 在天平上精称到 1mg, 然 后置入163 °±2.8℃通风良好的烤箱中烤15 ±1分钟, 再取出放入密闭的干燥皿中冷到 室 温,再迅速重称烤后重量。其失重与原重之比值以百分法表示之即为挥发成份含量。
5.3.2.2. P/P的切割 ,见图5.3
　 机械方向就是经向,可要求厂商于不同Prepreg胶卷侧边上不同颜色做为辨识
5.3.2.3 铜箔规格
　 详细铜箔资料请见'基板'章节 ，常见铜箔厚度及其重要规格表。
5.3.2.4 迭板作业
　　压板方式一般区分两种:一是Cap-lamination,一是Foil-lamination，本节仅讨论Foil-lamination.
A. 组合的原则
　 组合的方法依客户之规格要求有多种选择,考量对称,铜厚,树脂含量,流量等以最低成本达品质 要求:
(a) 其基本原则是两铜箔或导体层间的绝缘介质层至少要两张胶片所组成,而且其压合后之厚度不 得低于3.5 mil(已有更尖端板的要求更薄于此),以防铜箔直接压在玻璃布上形成介电常数太 大之绝缘不良情形,而且附着力也不好。
(b) 为使流胶能够填满板内的空隙 ,又不要因胶量太多造成偏滑或以后Z方向的过度膨胀,与铜面 接触的胶片,其原始厚度至少要铜厚的两倍以上才行。最外层与次外层至少要有5 mil以保证 绝缘的良好。
(c) 薄基板及胶片的经纬方向不可混错,必须经对经,纬对纬,以免造成后来的板翘板扭无法补救的 结果。胶片的张数一定要上下对称,以平衡所产生的应力。少用已经硬化C-Stage的材料来垫 补厚度,此点尤其对厚多层板最为要紧,以防界面处受热后分离。在不得及使用时要注意其水 份的烘烤及表面的粗化以增附着力。
(d) 要求阻抗 (Impedance)控制的特殊板,应改用低棱线(Low Profile)的铜箔,使其毛面(Matte side)之峰谷间垂直相差在6微米以下,传统铜皮之差距则达12微米。使用薄铜箔时与其接壤 的胶片流量不可太大,以防无梢大面积压板后可能发常生的皱折(Wrinkle)。铜箔迭上后要用 除尘布在光面上轻轻均匀的擦动,一则赶走空间气减少皱折,二则消除铜面的杂质外物减少后 来板面上的凹陷。但务必注意不可触及毛面以免附着力不良。
(e) 选择好组合方式,6层板以上内层及胶片先以铆钉固定以防压合时shift.此处要考虑的是卯钉 的选择(长度,深度材质),以及铆钉机的操作(固定的紧密程度)等.

C. 迭板环境及人员
迭板现场温度要控制在20°±2℃,相对湿度应在50% ±5%, ,人员要穿着连身装之抗静电服装、戴罩帽、手套、口罩(目的在防止皮肤接触及湿气),布鞋, 进入室内前要先经空气吹浴30秒,私人物品不宜带入,入口处更要在地面上设一胶垫以黏鞋 底污物。胶片自冷藏库取出及剪裁完成后要在室内稳定至少24小时才能用做迭置。完成迭 置的组合要在1小时以内完成上机压合。若有抽真空装置 ,应在压合前先抽一段时间,以赶走水气。胶片中湿气太大时会造成Tg降低及不易硬化现象。
D.迭板法
(a) 无梢压板法-此法每一个开口中每个隔板间的多层板散册要上下左右对准,而且各隔板间也绝对要上下对准,自然整个压床之各开口间也要对准在中心位置。 对准的方式有两种方式:
　 －一种是投影灯式,在迭板台正上方装一投影机,先将铝载板放在定位并加上牛皮纸,将光影按板册之尺寸投影在铝板上,再将各板册之内容及隔板逐一迭齐,最后再压上牛皮纸及铝盖板即完成一个开口间的组合。
　
　 －另一种是无投影灯时,将板册之各材料每边找出中点来,铝皮钢板也找出中点,也可进行上下对准。
　　 六层板则先将2个内层双面板分别钻出铆钉孔,每片双面板的四个铆钉孔要与板内各孔及线 路有绝对准确的关系再取已有铆钉梢的样板套在所用夹心的胶片,此等胶片已有稍大一点的 铆孔,于是小心将四边中心的铆钉孔对准并套上铆钉,再小心用冲钉器把四个铆钉逐一冲开压 扁而将两内层及其间的胶片夹死,其上下两面再迭上胶片及铜箔如四层板一样去压合。此时可 用X光检查两薄内层板间的对准情形再进行压合或折掉重铆。一般六层板只在第二层上做出箭靶即可。层间对位方式另参考内层制作检验. 　
　
(b) 有梢套孔迭置-将已精准钻出的工具孔的内层一一套在下载铝板定位梢上,并套上冲孔较大的胶片、牛皮纸、脱模纸、隔皮等。
(c)压力舱式迭置法-将板册内容按上无梢法迭铝载板上,此载板与液压法不同,其反面有导气的井字形沟槽,正　面平坦用以承载板册,连同隔板以多孔性的毯子包住放在导气板上,外面再包以两层防漏绝气特殊隔膜,最后以有弹性可耐压的特殊胶带将隔膜四周贴合气板上,推入压力舱内,关上门后先把包裹内抽至极低之气压使板册死处的藏气都被抽出,再于舱内压入高温的二氧化碳或氮气至150-200PSI,进行真空压合。
5.3.3 压合制程操作
5.3.3.1压合机种类
　压合机依其作动原理不同可分为三大类:
A.舱压式压合机(Autoclave):
　压合机构造为密闭舱体，外舱加压、内袋抽真空受热压合成型，各层板材所承受之热力与压力， 来自四面八方加压加温之惰性气体，其基本构造如下图5.4
　
　 优点: －因压力热力来自于四面八方，故其成品板厚均匀、流胶小。
　　　　－可使用于高楼层 缺点: 设备构造复杂，成本高，且产量小。
B.液压式压合机（Hydraulic）
　　
　　液压式压合机构造有真空式与常压式，其各层开口之板材夹于上下两热压盘问，压力由下往上 压，热力藉由上下热压盘加热传至板材。其基本构造如下图5.5 优点:a.设备构造简单，成本低，且产量大。 b.可加装真空设备，有利排气及流胶 缺点: 板边流胶量较大，板厚较不均匀。
C. ADARA SYSTEM Cedal
　　
　　压合机 Cedal为一革命性压合机，其作动原理为在一密闭真空舱体中，利用连续卷状铜箔迭板，在两 端通电流,因其电阻使铜箔产生高温,加热Prepreg，用热传系数低之材质做压盘，藉由上方加 压，达到压合效果，因其利用夹层中之铜箔加热，所以受热均匀、内外层温差小，受压均匀， 比传统式压合机省能源，故其操作成本低廉，其构造如下图5.6
优点:
　　　 a. 利用上下夹层之铜板箔通电加热，省能源，操作成本低。
　　　 b. 内外层温差小、受热均匀，产品品质佳。
　　　 c. 可加装真空设备，有利排气及流胶。
　　　 d. Cycle time短约4Omin.
　　　 e. 作业空间减小很多.
　　　 f. 可使用于高楼层
　 缺点: 设备构造复杂，成本高，且单机产量小迭板耗时。
C-1. Cedal Adara压合机其加热方式，为利用上下夹层之铜箔通电加热，其Stack结构简图见图5.7
5.3.3.2. 压合机热源方式:
A.电热式:
　 于压合机各开口中之压盘内，安置电加热器，直接加热。
　优点: 设备构造简单，成本低，保养简易。
　缺点:　a.电力消耗大。
　　　　 b.加热器易产生局部高温，使温度分布不均。
B.加热软水使其产生高温高压之蒸汽，直接通入热压盘。
　　优点: 因水蒸汽之热传系数大，热媒为水较便宜。
　　缺点:　a.蒸气锅炉必需专人操作，设备构造复杂且易锈蚀,保养麻烦。
　　　　　 b.高温高压操作，危险性高。
C.藉由耐热性油类当热媒，以强制对流方式输送，将热量以间接方式传至热压盘。
　　优点: 升温速率及温度分布皆不错，操作危险性较蒸汽式操作低。
　　缺点: 设备构造复杂，价格不便宜，保养也不易。
D.通电流式:
　利用连续卷状铜箔迭板，在两端通电流因其电阻使铜箔产生高温加热Prepreg，用热传系数低之材质做压盘，减少热流失。
　优点:　a.升温速率快(35℃/min.)、内外层温差小，及温度分布均匀。
　　　　 b.省能源，操作成本低廉。
　缺点:　a.构造复杂，设备成本高。
　　　　 b.产量少。
5.3.3.3. 开口(Opening)迭板之方式:
A.一般压合机迭板结构:
　若压合机有十二个开口，每一开口有上下热压盘，共十三个热压盘，迭板方式以钢质载盘为底 盘，放入十二张牛皮纸及一张铜箔基板，中间以一层镜面钢板一层板材的方式，迭入十二层板 材，上面再加一层镜面钢板及一张铜箔基板和十二张牛皮纸，再盖上钢质盖板，其结构如图5.8.
A-1 迭板结构各夹层之目的
　a. 钢质载盘,盖板(Press plate): 早期为节省成本多用铝板,近年来因板子精密度的提升已渐改成硬化之钢板,供均匀传热用.
　b. 镜面钢板(Separator plate): 因钢材钢性高, 可防止表层铜箔皱折凹陷.与拆板容易。钢板使用后，如因刮伤表面，或流胶残留无法去除就应加以研磨。
　c.牛皮纸: 因纸质柔软透气的特性，可达到缓冲受压均匀施压的效果,且可防止滑动，因热传 系数低可延迟热传、均匀传热之目的。在高温下操作，牛皮纸逐渐失去透气的特性,使用三 次后就应更换。
　d.铜箔基板:其位于夹层中牛皮纸与镜面钢板之间，可防止牛皮纸碳化后污染镜面钢板或黏在 上面，及缓冲受压均匀施压。
　e.其它有脱模纸 (Release sheet)及压垫 (Press pad) Conformal press的运用,大半都用在 软板coverlayer压合上.
B. CEDAL ADARA 迭板结构与方式 :见图5.9
　CEDAL迭板作业依图5.9分四个主要步骤,一个Stack最多可迭65个Panel,并可利用固定架固定,其构造图见图5.10
5.3.3.4. 压合时升温速率与升压速率对板子之影响
　 典型Profile见图 5.11
　A.温度:

　　a.升温段:以最适当的升温速率，控制流胶。
　　b.恒温段:提供硬化所需之能量及时间。
　　c.降温段:逐步冷却以降低内应力(Internal stress)减少板弯、板翘(Warp、Twist)。
　B.压力:
　　a.初压(吻压 Kiss pressure):每册(Book)紧密接合传热,驱赶挥发物及残余气体。
　　b.第二段压:使胶液顺利填充并驱赶胶内气泡，同时防止一次压力过高导致的皱折及应力。
　　c.第三段压:产生聚合反应，使材料硬化而达到C-stage。
　　d.第四段压:降温段仍保持适当的压力，减少因冷却伴随而来之内应力。
　B-1压力的计算

　　传统式的初压及全压,大量法的低压及高压都是对板面面积而言的,机台上的设定压力强度则 与顶起的活塞轴有直接的关系,故应先有板面压力强度的规范数值后再去换算成为机台设定 压力,即:
　　低压设定压力 = 40PSI×A(板子面积)÷活塞轴截面积(所得数值仍为压力强度)
　　高压设定压力 = 560PSI×A ÷活塞轴截面积
　　压力换算法:1㎏/㎝2 =14.22PSI(pound/in2)
　　1PSI = 0.07㎏/㎝2 ,1㎏/㎝2 = 1ATM。 　　
5.3.3.5. 压合流程质量管理重点:
　　a. 板厚、板薄、板翘
　　b. 铜箔皱折、
　　c. 异物,pits & dents
　　d. 内层气泡
　　e. 织纹显露
　　f. 内层偏移

5.3.4 后处理作业
5.3.4.1. 目的
　A. 设立加工之基准靶位，及基板外框成型。
　B. IPQC (In Process Quality Control) 作业，提升质量管理。
5.3.4.2.后处理之流程:
　A.后烤(post cure, post lamination)-通常后烤条件是150℃,4小时以上.如果先前压合步 骤curing很完整,可不做后烤,否则反而有害( 降低Tg ).可以测量Tg,判断curing是否完 整.后烤的目的有如下三个:
　　a.让聚合更完全.
　　b.若外表有弯翘,则可平整之.
　　c.消除内部应力并可改善对位.
　B. 铣靶,打靶-完成压合后板上的三个箭靶会明显的出现浮雕(Relief),
　 a.手动作业:将之置于普通的单轴钻床下用既定深度的平头铣刀铣出箭靶及去掉原贴的耐热胶 带,再置于有投影灯的单轴钻床或由下向上冲的冲床上冲出靶心的定位孔,再用此定位孔定 在钻床上即行钻孔作业。注意要定时校正及重磨各使用工具,
　 b.X-Ray透视打靶: 有单轴及双轴,双轴可自动补偿取均值,减少公差.
　C. 剪边(CNC裁板)-完成压合的板子其边缘都会有溢胶,必须用剪床裁掉以便在后续制程中作业 方便及避免造成人员的伤害,剪边最好沿着边缘直线内1公分处切下,切太多会造成电镀夹点 的困扰,最好再用磨边机将四个角落磨圆及边缘毛头磨掉,以减少板子互相间的刮伤及对槽液 的污染。或者现在很普遍直接以CNC成型机做裁边的作业